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“大家都差不多，都差不多。”王波只是嘻嘻的笑，不再挑话头说了。其实他也是这么认为的。现在被洪涛点明了，他反而感到很自豪。
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第108章：创新
长胜投资集团开过动员会之后，相关各单位就立刻行动起来。他们还是选择长胜精工的实验车间为研发基地，因为目前只有这里，才有高精度的机加工能力，也只有这里，才符合这些设备安放的条件。
郭东算是这里的地主，于是他就自然而然的成为此次研发任务的领头人。虽然他们已经成立了独立的机械研究院，但他们还在这里办公，也可以称得上是主人。
还是老规矩，研发之前先开会，郭东作为主人在椭圆形的会议桌档头，其他人就分列两边。这个位置平常是老板坐的，今天他能坐这个位置开会，郭东感到很兴奋。“咳咳”他首先清了清嗓子，才用愉快的语气说道：“各位领导，我们先做一下简单的分工怎么样？”
“怎么分工呢？”化学研究所的王波和他熟，因此他先开口问道。
“我是这样想的，两样设备，我们分作两组讨论。根据所占的技术比重，我们每组选出一个领头的。
首先，光刻机研制组。由我们、软讯公司、电子研究所、光学研究所、化学研究所负责研制，这个设备我们所占比重最多，我就领头，大家认为怎么样？”
卢汝成和洪涛两人，本来以前就是他的部下，因此他们俩人都没有反对。光学研究所和化学研究所，说实话在光刻机中所占的技术比重真不大，因此他们也没有反对。
“同意”几个人都表示赞同。
“那好，光刻机研究组就这么定了，待会儿我们再开会具体的讨论技术细节。至于离子注入机，则纯粹是一个物理原理，我提议由物理研究所领导研制，大家认为怎么样？”
郭东又提出了离子注入机研制组的负责人人选，没办法，谁让他坐在主席位呢？他不牵头他肯定其他人都不会说。
这次就没有人出言支持他了，但也没有人反对。等了几分钟，郭东见没有人发言，就接着说：“那就这样吧！我们分开讨论。你们放心，离子注入机研制组，我们也会派机械工程师参加的。”
说完他就站起来，然后对在坐的其它几位负责人说道：“卢总、王所长、洪所长、胡所长我们到隔壁的办公室去讨论具体的技术细节吧！你们的位子让你们的技术员填补。我们两边分开讨论，互不干扰。”
“郭院长有令，我一定坚决执行。”洪涛开了个小玩笑，然后他也站起来对坐在旁听席的张东方说：“张东方，你来代替我坐这里开会。”
“哈哈”在座的人都发出了善意的笑声，手上也没有闲着，其它几位也找了人代替自己。只有郭东的手下例外，他没有坐郭东的位子，而是坐到会议桌离主席位最远的位子。他有自知之明，知道那个位子不是他坐的。
物理研究所的所长叫王卫红，凭他的名字，一看就知道是60年代出生的人。他是后来沈丹青对研究所的改革，而竞选成功的。说实话，他的资历是在座的负责人当中是最低的。但他初生牛犊不怕虎，否则也不可能竞选成功。他等郭东他们几位走后，就转到主席位坐定说道：“虽然我知道我资历最浅，但事情总得有个挑头的，大家又没有反对，我就厚颜当这个组长了。”
“啪啪啪！”这时，会议桌上的人开始有人给他鼓掌了，都是刚刚代替的人，他们不是一个级别，因此没有人觉得不妥，反而觉得他很有魄力。
离子注入机研制组的人虽然不太齐心，但总算是开了一个头。另一边的郭东几人来到郭东他的办公室后，郭东请他们落坐，然后亲自为他们泡了茶。
“郭院长，客气啦！客气啦！还劳你亲自泡茶。”王波接过郭东的茶，嘴上客气道。
“这不是应该的吗？难道我去你那里你还不给我泡茶。”郭东也客气的回应。
卢汝成和洪涛则大大咧咧，就像理所当然的一样接过茶就喝，他们在一起共事几年了，早就没有了生疏感。只有光学研究所的胡所长比较拘谨，他也是新竞选上来的，而其他几位则是老板亲自提拔的，因此他自认身份比他们低一头。
“嗯！”郭东哼了一声，就开始讲话了：
“光刻机据我的了解，我们已经将前期的技术难点已经解决了，在别人看来很难的问题，我们就只要组装了，唯一麻烦的是后期的实验数据采集，但没有难度了，只是要花时间。”
讲到这里，他就问卢汝成：“卢总，数控部分，你们能解决吧！”
“没问题，这个数控系统比数控机床简单多了，只有几个直线动作和机械臂的输送动作的协调，我们几天就可以解决，只是数据采集要花点时间，我打算要学员们干，让他们历练历练。”卢汝成表示很简单，他还打算只要学员们干，当然他们得把关。
“那就好，你们没问题，就真的没问题了。我先和大伙说说我对光刻机的设想，据我所知，光刻机根据曝光方法的不同分为：接触式、非接触式和聚焦式三种。
接触式是以前的老方法，缺点太大，我就不讲了。聚焦式虽然更先进，但难度也最大，我们目前还没有这个需要，可以做为以后的研究课题。为了赶时间，我打算这次就采取非接触式，符合我们目前的制程工艺，最高精度可以达到二十纳米以内，目前来讲完全足够了。相反，我们的芯片设计还没赶上来，这次就只试制十六位元的芯片，精度只要达到U米级就够了，洪所长你们扯后腿了啊！”
郭东又开了洪涛的玩笑，不过这却是实情。洪涛也很无奈，芯片设计很复杂，需要大量的熟练人手。跟老板说得一样，要设计纳米级芯片，至少得有几千熟练电子工程师，否则想都不要想。
想到这些，洪涛接过话头说道：“目前我们只能设计一些简单的芯片，连32位元的芯片都要花大量时间才行，至少一年计，我们的熟练人手太少了，实在没办法。老板也知道我们是短板，因此我还被老板批过。唉！”
“好啦！既然老板已经批评了，我们就不批评你了。”郭东又小小的开了一记玩笑，然后正式说道：“非接触式光刻的技术要点就是激光头、掩模板还有基片要无限接近，最好只相差几个纳米，这样才能保证最大的精度。这是属于一种1：1投影技术或者说光刻技术，对掩模板的制作要求非常高，卢总，能不能将设计图进行电子图缩小？而不是光学缩小？”
“理论上是可以的，我们尽量想办法，也就是说我们根本不搞纸质图纸了，直接用电子图纸投影曝光？”涉及到他的专业，卢汝成想也没想就回答了。
这时洪涛也获得了灵感，因此接过了话头说道：“我打算采用液晶投影技术，液晶是一种分子级别的化合物，只要我们技术足够，那么控制精度可以无限小，我相信它能够很好的解决1：1电子图形缩小问题。我们就不走国外那套老路了，那样太复杂，而且精度不够。”
“也只有你才知道国外是怎么搞的，我们从来都是自己搞自己的，不也很好吗？只要我们达到了目的就够了。”
这时王波也插话说道，他对国外是怎么搞的是真不懂，他的话没有半句水份。
“洪所长这个主意很好，这样电子图形缩小就没问题了。”卢汝成对洪涛的办法不由拍案叫绝。
“这样我们是不是可以取消掩模板呢？”
郭东提出了一个大胆的设想。
“当然不行，液不能代替掩模板，因为液晶屏是通过光的偏振原理，来实现图像显示的。它根本就不可能实现，高精度光刻，不过我们可以试一试，让液晶屏代替光刻机，给掩模板显影电子图形，如果能够做到，也是一种了不得的进步，能节省很多步骤。
不过我们必须研究出一种，对光非常敏感的光刻胶。在化学蚀刻的时候，又能有效的保护未被光照的镀铬层。”
“王所长，这点你们能解决吧！”洪涛先给郭东解释了液晶原理，然后又问王波道。
“没问题。自从研究光刻胶以来，我们已经研究出多种光刻胶了。都是分别针对不同的物质，给掩模板用的光刻胶，我们已经研究出来了。效果怎么样？要试试才知道。”王波给予了肯定的回答。
“那太好了，那我们就试试吧！”郭东激动的说道
由于这次用途的特殊原因，他们不需要复杂的液晶技术，只需要第一代液晶技术，即TNLCD。就是简单的黑白屏，白光就是电路图，如果掩模板与液晶屏隔得足够近的说，也可以留下满意的电路图形。
还有一点与普通的液晶屏不同，这里的背景光源是强光源，他不是给人看的，而是专为掩模板曝光的。
当然缺点也很明显，由于液晶分子的大小原因，精度不够，因此不适合纳米级芯片技术，这是他们后来经过实验，才明白这个道理的。
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第109章：画面太美
郭东和他们几人，到了实验车间，郭东作为现场最不懂液晶技术的人，他就问其他几人：“液晶是怎么控制开关的，它又是怎么显示电路图形的？”
“液晶是早在1888年由奥地利植物学家莱尼兹发现的一种在常温下介于固态和液态之间的一种化合物质，由于当时并没有这类物质的称呼，因此他就取名液晶，就是液态固体的意思。
后来，直到1968年，美国RcA公司的沙诺夫研发中心的工程师，发现液晶受电压的影响而改变其排列顺序，他们利用这一现象而发明了第一块液晶屏。
至于怎么显示图形，则是把液晶置于平行的玻璃面板沟槽中，这样的玻璃面板有两块，前后两排沟槽是呈九十度垂直的，这样就构成了一个个的单元格，也就是像素点。在两排沟槽的中间，是呈网状的透明电极。
我们把横向排列的沟槽通电，那么这条沟槽中的液晶它们就会沿沟槽有顺序地排列，这时背景光源就可以通过它们。但是还有一层纵向排列的液晶它们没通电，因此它们是呈混乱排列的，光线还是通不过。如果这时，我们给纵向排列的某一条沟槽通电，那么纵向排列和横向排列相交的一个点，这里光线就可以真正通过了，许多个这样的亮点就构成了图形。
当然真正的液晶技术不会这么简单，但我们现在就只要这么简单的技术就可以了。复杂了反而不好，会影响图像精度。”说到液晶就是王波的菜，因此他小小的向郭东科普了一番。
“原来是这样！这下我明白了。”郭东边说边点头，好像已经完全明白了的样子。
只要使用第一代液晶技术当然很简单，况且他们需要的比第一代技术更简单，因此没有什么难度。他们唯一要解决的是沟槽的精度，使像素点更细密。
不过相对于拥有纳米级加工工艺技术的长胜精工来说，就太简单了。因为沟槽再怎么精密，也只有U米级，这是液晶化合物分子的大小所决定的。
当第一块液晶屏试制出来，在了解了技术细节之后，郭东就感叹说：“看来这项技术的缺点也很明显，它只能达到U米级精度，我们算是白忙活了。”
“也不能这么说，其实日常生活中，低级别的芯片用的是最多的，比如普通的小家电所用的芯片以及普通的工控芯片。我们能减少低级别芯片的工序也是了不得的进步。”这时，权威专家洪涛就站出来给大家打气了。
“唉！好吧！我们先试试吧！还不知道能不能代替激光刻蚀呢？”郭东又发感慨了，真是一个多愁善感的人。
要试很简单，因为不是硅晶圆因此无须无氧环境，只要一间暗室就可以了。暗室也不是真的暗，黄光还是可以的。
他们实验了一下，情况还好，只要掩模板与液晶屏隔得足够近，大概几纳米的样子，光的漫散现象还是不严重。也就是说用液晶屏代替激光蚀刻掩模板获得了成功，虽然只能用在低制程芯片技术上，但是因为图形转移快捷，可以说是非常有用的一项技术了。
接下来就是真正研制光刻机了。由于一些技术难点郭东他们还是长胜精工技术部的时候就早已解决了，因此他们直接进入了设计环节。
为了最大程度的提高效率和减少氩气用量，郭东要技术员将工作台里面的活动机构的最大行程设置为5毫米。也就是说从最上面的激光到最下面的基片面只有5毫米，这个5毫米中间还有一个有缺口的托架，托架是放掩模板的平台，它只能上下移动。而那个缺口就是为微型机械臂输送掩模板用的。
掩模板至少得有一毫米厚，托架也至少得有二毫米厚，加上微型机械臂占去了一点点厚度，也就是说在输送掩模板的过程中，与上面的激光头和下面的基片上下相差不到一毫米了，玩的就是这么精密。
当然硅晶圆基片，它是最后才放进来的，而且微型机械臂是从下面输送进来的，不占用这5毫米的工作空间。
硅晶圆基片台是真正的固定，它不需要移动。唯一能上下左右移动的就是激光头。激光头不止一个，而是一排。就像刷卡一样，它只要刷一次就够了。
看起来很简单，其实他最难的是怎么控制掩模板与基片之间只相差几纳米，激光头与掩模板之间只相差几纳米。就是这一个难点就难住了许公司，这需要纳米级加工工艺才能做到。而恰好长胜投资集团就能做到，道理就是这么简单。
掩模板不止一块，而是有许多块。因此他有另外一套安置机构，就像机床的刀具换刀系统一样。为了最大限度地节省空间，它是平行环绕在工作台的周围的，它能环绕转圈，能根据电脑的指令，将下块需要的掩模板输送到微型机械臂的面前。原理和机床的数控换刀系统是差不多的。
为什么要把工作台设置的这么薄呢？就是为了减少上下移动所花费的时间，还有也减少了运动势能，这就相应的增加了上下移动的控制精度。
到了这时，如果仅仅从光刻机的角度看，长胜投资集团的芯片制程工艺已经超过了2017年的世界水平。郭东他们设计的光刻机甚至能达到10纳米以内的制程工艺，当然激光头还需改进成为聚焦式激光头。但是从纯机械的角度看，他们是真的达到了。
不过芯片制程是一个系统的工程，不是简单的机械精度就够了，其实最制约制程工艺的是化学蚀刻环节。在以后的章节中我会祥细讲解。
在以往的工业文中，有作者提到浸润式激光技术，能翻倍提高蚀刻精度。那是因为当时所处的时代，激光精度低所导致的，长胜投资集团所用的极深紫外光是2016年才研发的技术，激光精度一下子提高了几十倍，远远不是什么浸润式激光头技术所能比拟的。
光刻机研制成功了，郭东他们进行了多次实验，发现蚀刻精度非常高，已经完全达到或超过了要求。洪涛甚至直言自家的技术已经远远超过了美国，他能这么说，是有道理的。
他是留美电子工程博士，他在美国